石英インラインヒーター

石英インラインヒーター

とりわけナイトライドエッチング及びSC－1洗浄工程に於いて抜群の耐久性、長寿命の実績があります。
薬液循環用加熱ヒーターとして、薬液循環バスとの併用でご利用できます。
ヒーターエレメントにインコネルヒーターを使用することにより、従来の空焚きによる断線やエアー溜まり部の断線が解消され、長寿命で熱効率の高いインラインヒーターを実現しました。

特徴

■ 抜群の耐久性、信頼の実績！

薬液循環用加熱ヒーターとして薬液循環バスとの併用でご利用でき、熱効率の良いインコネル製ヒーターエレメントを採用しています。
石英筒の外面全体に網目状のヒーターエレメントを直接接着し、剥がれや隙間が無く断線等のトラブルがありません。
接液部は高純度石英ガラスでクリーンです。そのため半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出がありません。
構造は非常にシンプルな為液溜まり等ができません。外装には難燃性に優れたFrPP(自己消化性PP)の採用しています。
インコネルヒーターの温度検知によりヒーター温度の制御を行う過熱防止用安全機構を装備しています。

仕様表

■ ワンパスでの温水器としては使用出来ません。

専用コントローラーもご用意しております。その他の仕様にも対応します。
詳しくはお問い合わせ下さい。

■ お問い合わせ
こちらの商品に関しての詳細は製造元にお問い合わせ下さい。
製造元：有限会社カガテクノ
電　話：048-685-6229
携　帯：090-7637-5093(担当者直通)
E-mail：kaga-techno@citrus.ocn.ne.jp

主な用途例

■洗浄工程(拡散前処理等)
■エッチング工程(ナイトライドエッチング)
■剥離工程(レジスト等)
■その他精密洗浄工程