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半導体関連装置
半導体の洗浄工程、エッチング工程、剥離工程、その他精密洗浄工程向けの
石英昇温槽や石英インラインヒーターを扱っております。
ラインナップ
石英昇温槽
従来の恒温槽ヒ-タ-によく生じていた剥がれや隙間、ホットポット等のトラブルを解消しました。
石英インラインヒーター
薬液循環用加熱ヒーターとして、薬液循環バスとの併用でご利用できます。
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